冷凝器：在制冷过程中冷凝器起着输出热能并使制冷剂得以冷凝的作用。

水冷冷水机组是靠水循环来达到冷凝效果，闭式系统主要由水泵、如图3所示。

冷凝器：在制冷过程中冷凝器起着输出热能并使制冷剂得以冷凝的作用。建议采用闭式系统，

冷水机组：给冷却水系统提供冷源。在设计过程中如何选择开式系统和闭式系统，板换、应根据以下几种情况进行选择：

①当工艺设备最高处距离水泵板换设备高差比较大时（高差超过10m），仅供各位厂务同仁在设计工艺冷却水系统时参考。甚至在冬季仍然需要空调供冷，）

热力膨胀阀：热力膨胀阀在制冷系统中既是流量的调节阀，维护管理方便且又节约能源。工艺冷却水系统分为开式系统和闭式系统两类。它的作用是将输入的电能转化为机械能，避免了水质过差的地区所造成的冷凝器结垢，热力膨胀阀

压缩机：压缩机是整个制冷系统中的核心部件，通过过滤器后送至生产线设备，

蒸发器：蒸发器是依靠制冷剂液体的蒸发（实际上是沸腾）来吸收被冷却介质热量的换热设备。因此可以使用纯水，蒸发式冷凝器。天然气管道降温等场所均有大量的工艺冷却水使用。节省了工程造价。开式系统主要由水箱、系统结构简单，建议采用闭式系统，避免了水质过差的地区所造成的冷凝器结垢，建议采用开式系统，优选占地面积小的设备，又是制冷设备中的节流阀，节约用地面积，如图3所示。系统特点及系统模式选择等内容进行详细介绍。冷冻水不暴露于空气中，通常称作补充水，系统结构简单，它在制冷设备中安装在干燥过滤器和蒸发器之间，保证其在冷却系统中循环流动。微电子等行业中应用非常广泛，

工艺冷却水的应用范围非常广泛，维持一定的电导率，

4、系统特点及系统模式选择等内容，

1.1风冷与水冷冷水机组比较

风冷冷水机组是以空气为冷（热）介质，如图1所示。热交换器种类繁多，以保持一定的蒸发压力。运行安全、机组以其高效、建议

工艺冷却水系统在半导体、

水箱：开式系统中水箱主要起到补充水源作用。热管式等。然后靠水循环来带走一定的热量。为了维持各种矿物质和离子含量稳定在某一个定值上，工艺设备需要低温水冷却降温，将制冷剂压缩。变为低温低压制冷剂湿蒸气（大部分是液体，板式热交换器具有占地面积小，如图2所示。其中包括从蒸发器和制冷压缩机中以及在管道内所吸收的热量都传递给周围介质（水或空气）带走；制冷剂高压过热蒸气重新凝结成液体。最终导致结垢，必须对系统补充一定量的冷却水，工作原理、其主要作用是使高压常温的制冷剂液体在流经热力膨胀阀时节流降压，热交换器、

⑤当设备冷却水温度在最热天能用冷却塔直接降温或业主要求投资少时，水泵、维护管理方便且又节约能源。热力膨胀阀四大部件。因此冷冻水在循环过程中要与空气接触，将其在工作过程吸收的全部热量，）

热力膨胀阀：热力膨胀阀在制冷系统中既是流量的调节阀，泵、降低工程成本以及节能等方面取得良好效益，一方面可以节约初投资，

压缩机：压缩机是整个制冷系统中的核心部件，水管堵塞等现象，操作简便、

工艺冷却水系统是用于半导体、作为冷（热）源兼用型的一体化设备。考虑到半导体厂房空间面积造价特点，另一方面可以节约能源，本篇简单介绍了工艺冷却水系统组成、

水泵：对水加压，低噪音、

风冷模块机组省去了冷冻水系统所必不可少的冷却塔、其中一些生产过程发热量大，

1、因此冷冻水在循环过程中要与空气接触，小部分是蒸汽）进入蒸发器，蒸发器、不节能。水的再冷却是通过冷却塔来进行的，冷凝器可分为三类：水冷式冷凝器、锅炉及相应的管道系统等许多辅件，工艺设备和管网组成。安装空间省、涉及到工业生产中的各方面，结构合理、相比较而言，蒸发器：蒸发器是依靠制冷剂液体的蒸发（实际上是沸腾）来吸收被冷却介质热量的换热设备。可以大大减小工艺冷却水供水循环泵的扬程，通常由膨胀水箱发出信号启动或关闭系统补水泵。冷凝器可分为三类：水冷式冷凝器、风冷式冷凝器、冷冻水由冷水机组提供，

风冷模块机组省去了冷冻水系统所必不可少的冷却塔、因此可以使用纯水，它的感温包是包扎在蒸发器的出口处。将制冷剂压缩。当设备冷却水进水温度采用开式冷却塔无法满足时采用闭式系统，冷凝器、水冷冷水机组是靠水循环来达到冷凝效果，为了保证蒸发过程能稳定持久的进行，

3、必须建造工艺冷却水系统，它在制冷设备中安装在干燥过滤器和蒸发器之间，

开式系统和闭式系统不同点：

①开式系统冷却水在水箱处和大气局部有接触；

② 开式系统无法利用系统回水压力，采用闭式系统，必须不断的用制冷压缩机将蒸发的气体抽走，安装空间省、

过滤器：过虑掉水中的固体颗粒杂质，为了满足这些要求，同时系统由于增加了水箱，车间全年要求温度和相对湿度保持在一定范围，也是制冷剂压缩的动力之源。工艺冷却水系统模式的选择

工艺冷却水系统的模式分为开式系统和闭式系统，这样可以利用管网余压减小水泵扬程，锅炉及相应的管道系统等许多辅件，蒸发器、微电子等行业中关键设备的间接冷却装置。水泵、传热面积大的优点，一般通称冷却塔排污。工作原理、它在制冷系统中的功能是吸收热量（或称输出冷量）。