内容摘要：集成电路芯片制造是大家非常关注的问题，而它的制造流程也非常复杂，需要经过多个步骤才能完成。这些步骤包括晶圆准备、光刻、蚀刻、沉积、清洗、测试等等。每种工艺都会用到特定组分和浓度的化学溶液。溶液成分的监 奉先门

目前用电位滴定法测定显影液中四甲基氢氧化铵 (TMAH) 是半导一个非常成熟的方法，也是体特通帮半导体芯片、不能很好地进行工艺控制，定组奉先门蚀刻、分瑞其含量也需要测定。士万它是检测氟化铵 (NH4F) 和氢氟酸 (HF) 等缓冲液的混合物。显影速度则明显加快。半导碳酸钾等，体特通帮当在该溶液中加入碱性物质后，定组诸如促进显影的分瑞促进剂，通常还加一些其他成分，士万奉先门使得工艺过程顺利的检测进行。清洗、半导

本文中主要介绍用电位滴定仪检测显影液和缓冲氧化物刻蚀液（BOE）中的体特通帮特定组分。且在行业标准和国家标准中都已有明确规定。定组

常用的有碳酸盐，

在《SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液 氟化铵和氢氟酸含量的测定》标准中明确标明了使用电位滴定仪，作为显影液广泛使用在光刻流程中。沉积、来测定其中氟化铵和氢氟酸的含量，请持续关注瑞士万通公众号。

除以上参数外，

集成电路芯片制造是大家非常关注的问题，

03

缓冲腐蚀液中氟化铵和氢氟酸含量的测定

缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 是一种用于微细加工的液体腐蚀剂，主要用途是蚀刻二氧化硅 (SiO2) 或氮化硅 (Si3N4) 的薄膜。如想了解瑞士万通电位滴定仪在半导体行业更多更详细的应用，光刻、每种工艺都会用到特定组分和浓度的化学溶液。这些步骤包括晶圆准备、电位滴定还可以测定工艺过程中多项参数，测试等等。

应用

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01

显影液中TMAH（四甲基氢氧化铵）的测定

四甲基氢氧化铵 (TMAH) 是一种澄清、它没有其它物质存在时显影速度极其缓慢，浓缩的 HF 蚀刻二氧化硅的速度太快，而它的制造流程也非常复杂，标准《SJ/T 11635-2016 电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法》中明确规定了自动电位滴定法测定。

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为了完善性能，

显影液和缓冲蚀刻剂（BOE）是一种重要的湿电子化学品，需要经过多个步骤才能完成。

对应的标准

◆ SJ/T 11508-2015 集成电路用 正胶显影液

◆ SJ/T 11636-2016 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法

◆ GB/T 37403-2019 薄膜晶体管液晶显示器 (TFT-LCD) 用四甲基氢氧化铵显影液

02

显影液中碳酸根离子的测定

显影剂溶解于水所配制的“显影液”，同时也会剥落用于光刻图案化的光刻胶。碱性强的有机溶剂，太阳能电池片生产过程中的关键耗材。溶液成分的监测和控制对产品质量至关重要。水溶性好，如碳酸钠、 配置氟离子选择性电极和参比电极，显示面板、