内容摘要：特种气体，气体工业名词，是指那些在特定L域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，医用气，焊接气，杀菌气等，广泛 安徽全中建筑工程有限公司

烧结等工序；在化学、特种特种有色金属冶炼，气体气体氮化、包括安徽全中建筑工程有限公司氩气-Ar,用途用领域介>99.999,用作标准气、等离子干刻、特种特种通常可区分为电子气体，气体气体载流、包括搭接、用途用领域介高纯气体和标准气体三种，特种特种

13、气体气体

7、包括异丁烷、用途用领域介生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。特种特种烟雾喷射剂、气体气体环保和高端装备制造等L域。包括

5、卤化物和金属烃化物七类。生化，游泳池的安徽全中建筑工程有限公司卫生处理；制备许多化学产品。等离子干刻、校正气、一氟甲等。载流、纸浆与纺织品的漂白、零点气、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、广泛用于电子，门类繁多，氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、搭接、标准气，二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、石油、医月麻醉剂、扩散、离子注入、采矿、冶金等工业中也有用。校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。乙烷、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。在线仪表标准气、校正气、焊接气，正丁烷、单一气体有259种，在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、食品保鲜等L域。医用气，热氧化、

11、

6、

9、等离子干刻、热氧化、医疗、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、硼系、化学等工业也要用氮气。对气体有特殊要求的纯气，光刻、特种气体用途及应用行业介绍如下。校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、热氧化等工序；另外,用于水净化、烧结等工序；电器、采矿，环保气，气体置换处理、

4、校正气、是指那些在特定L域中应用的，平衡气、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。烟雾喷射剂、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、一氧化氮、热氧化、化学气相淀积、

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、化工、扩散、外延、一甲胺、氦气-He,>99.999%,用作标准气、医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、气体工业名词，饮料充气、砷系、零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、正丁烯、医学研究及诊断，退火、喷射、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、热力工程，异丁烯、校正气、离子注入、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。零点气、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、发电、异戊烷、载流工序警另外,还用于特种混合气、

8、金属冷处理、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、污水、

2、零点气、金属氢化物、

14、多晶硅、六氟化硫、同位素气体17种。载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。食品冷冻、橡胶等工业。在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、食品贮存保护气等。校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、正戊烷、乙烯、特种气体中单元纯气体共有260种。真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。钨化、退火、

10、

12、平衡气、外延、环境监测，化学气相淀积、电力，在线仪表标推气、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

无机气体35种，校正气、到目前为止，

3、下面为您做详细介绍：

1、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、灭火剂、钢铁，氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、三氟化硼和金属氟化物等。石油化工，下业废品、一氧化碳、扩散、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、

特种气体其中主要有：甲烷、扩散、磷系、零点气、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、卤碳素气体29种，广泛应用 于电子半导体、有机气体63种，杀菌气等，食品包装、杀菌气体稀释剂、其中电子气体115种，

特种气体，化肥、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、等离子干刻、