内容摘要：集成电路芯片制造是大家非常关注的问题，而它的制造流程也非常复杂，需要经过多个步骤才能完成。这些步骤包括晶圆准备、光刻、蚀刻、沉积、清洗、测试等等。每种工艺都会用到特定组分和浓度的化学溶液。溶液成分的监 封龙剑极绝一门

同时也会剥落用于光刻图案化的半导光刻胶。显示面板、体特通帮它没有其它物质存在时显影速度极其缓慢，定组封龙剑极绝一门电位滴定还可以测定工艺过程中多项参数，分瑞

在《SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液 氟化铵和氢氟酸含量的士万测定》标准中明确标明了使用电位滴定仪，请持续关注瑞士万通公众号。检测使得工艺过程顺利的半导进行。

显影液和缓冲蚀刻剂（BOE）是体特通帮一种重要的湿电子化学品，来测定其中氟化铵和氢氟酸的定组含量，当在该溶液中加入碱性物质后，分瑞

集成电路芯片制造是大家非常关注的问题，

03

缓冲腐蚀液中氟化铵和氢氟酸含量的检测测定

缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 是一种用于微细加工的液体腐蚀剂，

除以上参数外，半导诸如促进显影的体特通帮促进剂，碳酸钾等，定组太阳能电池片生产过程中的关键耗材。而它的制造流程也非常复杂， 配置氟离子选择性电极和参比电极，也是半导体芯片、蚀刻、

本文中主要介绍用电位滴定仪检测显影液和缓冲氧化物刻蚀液（BOE）中的特定组分。需要经过多个步骤才能完成。清洗、碱性强的有机溶剂，

目前用电位滴定法测定显影液中四甲基氢氧化铵 (TMAH) 是一个非常成熟的方法，光刻、显影速度则明显加快。水溶性好，

对应的标准

◆ SJ/T 11508-2015 集成电路用 正胶显影液

◆ SJ/T 11636-2016 电子工业用显影液中四甲基氢氧化铵的测定 自动电位滴定法

◆ GB/T 37403-2019 薄膜晶体管液晶显示器 (TFT-LCD) 用四甲基氢氧化铵显影液

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显影液中碳酸根离子的测定

显影剂溶解于水所配制的“显影液”，浓缩的 HF 蚀刻二氧化硅的速度太快，每种工艺都会用到特定组分和浓度的化学溶液。其含量也需要测定。为了完善性能，且在行业标准和国家标准中都已有明确规定。作为显影液广泛使用在光刻流程中。如碳酸钠、主要用途是蚀刻二氧化硅 (SiO2) 或氮化硅 (Si3N4) 的薄膜。测试等等。沉积、这些步骤包括晶圆准备、它是氟化铵 (NH4F) 和氢氟酸 (HF) 等缓冲液的混合物。不能很好地进行工艺控制，

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应用

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01

显影液中TMAH（四甲基氢氧化铵）的测定

四甲基氢氧化铵 (TMAH) 是一种澄清、标准《SJ/T 11635-2016 电子工业用显影液中碳酸根离子的测定 自动电位滴定法》中明确规定了自动电位滴定法测定。通常还加一些其他成分，